“儀器設備處于工業(yè)的核心地位，提高儀器設備水平，充分發(fā)揮其作用，才能促進半導體等產(chǎn)業(yè)發(fā)展，并走向世界前沿?！敝袊茖W院院士褚君浩在8月10日舉辦的第11屆(2023年)中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會半導體設備年會暨產(chǎn)業(yè)鏈合作論壇上表示。

半導體設備市場發(fā)展勢頭良好

半導體設備是支撐電子行業(yè)發(fā)展的基石。近年來，國內(nèi)多家半導體設備企業(yè)在關鍵領域取得了進展，材料零部件的龍頭企業(yè)也呈現(xiàn)出快速增長的趨勢。

中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會理事長、北方華創(chuàng)董事長趙晉榮表示，10余年來中國半導體設備市場規(guī)模持續(xù)發(fā)展，尤其是近幾年，中國本土設備取得了較大進步。

數(shù)據(jù)來源：浙商證券研究所

根據(jù)中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會的統(tǒng)計，2022年，77家規(guī)模以上半導體設備制造商銷售收入累計完成593億元，同比增長53.6%。其中，前10家設備制造商完成銷售收入438億元。

中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會常務副秘書長金存忠表示，今年1—6月，主要半導體設備進口額在減少，國內(nèi)企業(yè)半導體設備訂單在增長。預計2023年，本土的半導體設備銷售額將增長38%左右。

數(shù)據(jù)來源：SEMI

睿歷科學儀器（上海）有限公司總經(jīng)理兼首席執(zhí)行官楊峰表示，當前國內(nèi)半導體設備企業(yè)應把握發(fā)展機遇，首先在成熟工藝領域，新興的半導體設備企業(yè)有機會成為主力軍；其次在高階制程領域，只要加快研發(fā)進度和技術迭代，還是有機會趕上的?！?/p>

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半導體設備廠商仍面臨諸多難題

中微半導體設備（上海）股份有限公司董事長兼首席執(zhí)行官尹志堯表示，半導體設備要超前半導體制造3~5年開發(fā)新一代產(chǎn)品，雖然我國半導體設備經(jīng)過不斷地努力，已經(jīng)取得了長足的進步，但外國設備仍占國內(nèi)設備采購的85%左右。

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李晉湘同時指出，我國半導體設備廠商正面臨三個挑戰(zhàn)：一是缺乏某類設備，不能形成體系化生產(chǎn)流程；二是設備齊全，但特殊工藝要求無法滿足；三是設備和工藝雖然完善，但關鍵工藝不穩(wěn)定、不可靠。

盛美半導體設備（上海）股份有限公司總經(jīng)理王堅也表示，中國半導體設備銷售額的成長速度飛快，從2008年的17億元，增長到了2022年的593億元。雖然取得如此大的成績，但是與全球市場規(guī)模相比還是很小，國內(nèi)半導體設備廠商仍面臨很多難題。